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手机号：131-2706-6628
公司地址：山东省青岛市李沧区京口路100号
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整机 Footprint:1350mmx740mm
工艺运行带自动控压
下电极三针结构，带背氦
标配内衬，工艺稳定性好
支持托盘结构或8寸裸片
Load-Lock 双腔体结构
工艺菜单化，自动运行
下电极高低温控制，精度+0.1℃℃
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