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IBE-150D 离子束刻蚀系统

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产品详情

整机 Footprint:1000mmx750mm

考夫曼离子源

离子源口径 Ф150mm

触摸屏人机交互

水冷样品台

样品台自转+角度调整(0-90°)

支持样品最大外径 150mm

工艺菜单化自动运行,支持一键运行

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