PCD150A 桌面型等离子体清洗机 - 青岛宜准半导体科技有限公司

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PCD150A 桌面型等离子体清洗机

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设备特点：

◆ 整机尺寸520mm（W）×515mm（D）×430mm（H）

◆ 10寸触摸屏操作（进口ELO电容触摸屏）

◆ 射频电源功率范围5w~300w

◆ 扣手式面板设计，方便维护与升级

◆ 6寸样品台，工艺性能稳定，片内片间均匀性±5%

◆ 菜单化工艺，可支持200条以上工艺菜单

◆ 自主开发的全自动控制系统，支持一键运行操作

适用工艺